Phún xạ là kỹ thuật tạo màng mỏng chất lượng cao
Phún xạ là một loại mạ khô. Mục tiêu của vật liệu tạo màng mỏng (lắng đọng) và chất nền làm cực dương được đặt trong buồng chân không chứa đầy khí trơ (khí Ar, v.v.). Một điện áp cao được đặt vào giữa chúng.
Điện áp cao tạo ra plasma và trong plasma, Ar+ va chạm với mục tiêu ở tốc độ cao. Các hạt mục tiêu đã được phun ra sẽ bám vào chất nền, dẫn đến sự hình thành màng.
• Năng lượng bám dính của vật liệu lắng đọng cao đến mức có thể tạo thành màng có độ bám dính cao.
• Có thể kiểm soát độ dày màng chính xác, tạo ra màng mỏng có mật độ và độ đồng đều tuyệt vời.
• Quá trình phún xạ có thể tạo thành màng kim loại có nhiệt độ nóng chảy cao, khó lắng đọng hơi nước và cũng có thể tạo thành màng mà không làm thay đổi thành phần của hợp kim.
• Kim loại đơn nguyên tố, vật liệu hợp kim, oxit, nitrit, v.v. có thể được hình thành trên bề mặt màng, sản phẩm đúc nhựa, kim loại, thủy tinh, v.v. với độ dày nano.
• Năng lượng bám dính của vật liệu lắng đọng cao đến mức có thể tạo thành màng có độ bám dính cao.
• Có thể kiểm soát độ dày màng chính xác, tạo ra màng mỏng có mật độ và độ đồng đều tuyệt vời.
• Quá trình phún xạ có thể tạo thành màng kim loại có nhiệt độ nóng chảy cao, khó lắng đọng hơi nước và cũng có thể tạo thành màng mà không làm thay đổi thành phần của hợp kim.
• Kim loại đơn nguyên tố, vật liệu hợp kim, oxit, nitrit, v.v. có thể được hình thành trên bề mặt màng, sản phẩm đúc nhựa, kim loại, thủy tinh, v.v. với độ dày nano.
Vật liệu phủ chân không ( phún xạ ) phục vụ sản phẩm
Kim loại s:Al,Cr,Ta,An,Ti,Ma,Ni,Ca,Si,Zn..
Hợp kim s:CuAl,SiCr,,AuSn,TiZr,FeCr,AuIr,AlTi
Oxit :Al2O3,CuO,SrO,CrO3,ZnO,SiO…
Borua :CrB2,TiB2,ZrB2,NbB2…
Cacbua :TaC,ZrC,NbC,Cr3C2,SiC…
Nitrat :AlN,TiN,ZrN,BN,NbN…
Chất diệt khuẩn : CrSi2,TaSi2,ZrSi2…
Các vật liệu quý (Vàng, Bạc, Pt, Ru, Pd, Ir, Os)